大夏最开始研究光刻机，是在七十年代就已经开始了，最初是让南金大学的1445研究所进行研究。

七十年代的时候，大夏就已经意识到了光刻机的重要性，并且快速开始研究光刻机，1982年科学院109厂的KHA-75-1光刻机，这些光刻机在当时的水平均不低，最保守估计跟当时最先进的canon相比最多也就不到4年。

1985年，机电部45所研制出了分步光刻机样机，通过电子部技术鉴定，认为达到米国4800DSW的水平，这应当是大夏第一台分步投影式光刻机，采用的是436纳米G线光源。按照这个时间节点算，大夏在分步光刻机上与国外的差距不超过7年。